As półprzewodnikWraz z rozwojem technologii mikroelektronicznych w kierunku wyższej wydajności i integracji, rosną wymagania dotyczące czystości gazów specjalnych stosowanych w elektronice. Technologia rurociągów gazowych o wysokiej czystości stanowi istotną część systemu dostaw gazu o wysokiej czystości. Jest to kluczowa technologia umożliwiająca dostarczanie gazów o wysokiej czystości, które spełniają wymagania punktów poboru gazu, zachowując jednocześnie wysoką jakość.
Technologia rurociągów o wysokiej czystości obejmuje prawidłową konstrukcję systemu, dobór złączek rurowych i materiałów pomocniczych, konstrukcję i instalację oraz testowanie.
01Ogólna koncepcja rurociągów przesyłowych gazu
Wszystkie gazy o wysokiej czystości muszą być transportowane rurociągami do punktu odbioru gazu. Aby spełnić wymagania jakościowe procesu, przy zapewnionym wskaźniku eksportu gazu, należy zwrócić szczególną uwagę na dobór materiałów i jakość wykonania systemu rurociągów. Oprócz dokładności urządzeń do produkcji i oczyszczania gazu, na precyzję systemu rurociągów wpływa wiele czynników. Dlatego dobór rur musi być zgodny z obowiązującymi w branży oczyszczania zasadami i musi być oznaczony na rysunkach materiałami, z których są wykonane.
02Znaczenie rurociągów o wysokiej czystości w transporcie gazu
Znaczenie rurociągów o wysokiej czystości w transporcie gazu o wysokiej czystości. Podczas procesu wytopu stali nierdzewnej każda tona może pochłonąć około 200 g gazu. Po przetworzeniu stali nierdzewnej nie tylko różne zanieczyszczenia osadzają się na jej powierzchni, ale również pewna ilość gazu jest absorbowana w jej metalowej siatce. Gdy przez rurociąg przepływa powietrze, część gazu pochłonięta przez metal ponownie przedostaje się do strumienia powietrza i zanieczyszcza czysty gaz.
Gdy przepływ powietrza w rurze jest nieciągły, w rurze następuje adsorpcja ciśnieniowa gazu przepływającego przez rurę. Gdy przepływ powietrza ustaje, zaadsorbowany przez rurę gaz ulega redukcji ciśnienia, a analizowany gaz przedostaje się do czystego gazu w rurze jako zanieczyszczenie.
Jednocześnie cykl adsorpcji i analizy powoduje, że metal na wewnętrznej powierzchni rury wytwarza pewną ilość proszku. Te cząstki pyłu metalicznego zanieczyszczają również czysty gaz w rurze. Ta cecha rury jest bardzo ważna. Aby zapewnić czystość transportowanego gazu, wymagana jest nie tylko wyjątkowo gładka powierzchnia wewnętrzna rury, ale także wysoka odporność na zużycie.
W przypadku silnie korozyjnych właściwości gazu, do jego instalacji należy stosować rury ze stali nierdzewnej odpornej na korozję. W przeciwnym razie na wewnętrznej powierzchni rury pojawią się plamy korozyjne. W skrajnych przypadkach duże fragmenty metalu mogą się odklejać, a nawet perforować, zanieczyszczając transportowany gaz.
03Materiał rury
Wybór materiału rury powinien być dostosowany do jej przeznaczenia. Jakość rury jest zazwyczaj mierzona chropowatością jej wewnętrznej powierzchni. Im niższa chropowatość, tym mniejsze prawdopodobieństwo przenoszenia cząstek. Rury dzielą się na trzy typy:
Jeden jestRura 316L klasy EP, który został polerowany elektrolitycznie (Electro-Polish). Jest odporny na korozję i charakteryzuje się niską chropowatością powierzchni. Rmax (maksymalna wysokość od szczytu do doliny) wynosi około 0,3 μm lub mniej. Charakteryzuje się najwyższą płaskością i nie tworzy mikroprądów wirowych. Należy usunąć zanieczyszczone cząstki. Gaz reakcyjny używany w procesie powinien być doprowadzany rurociągiem na tym poziomie.
Jeden jestGatunek BA 316LRura poddana obróbce Bright Anneal i często stosowana do gazów mających kontakt z wiórem, ale niebiorących udziału w reakcji procesu, takich jak GN2 i CDA. Jedną z nich jest rura AP (Annealing & Picking), która nie jest specjalnie poddana obróbce i jest zazwyczaj stosowana do podwójnych zestawów rur zewnętrznych, które nie są wykorzystywane jako przewody doprowadzające gaz.
04 Budowa rurociągów
Obróbka ujścia rury jest jednym z kluczowych punktów tej technologii budowlanej. Cięcie i prefabrykacja rurociągów odbywają się w czystym środowisku, a jednocześnie zapewnia się brak szkodliwych śladów lub uszkodzeń na powierzchni rurociągu przed cięciem. Przygotowanie rurociągu do przepłukania azotem powinno nastąpić przed jego otwarciem. Zasadniczo do łączenia rurociągów przesyłowych i dystrybucyjnych o wysokiej czystości i dużym przepływie stosuje się spawanie, ale spawanie bezpośrednie jest niedozwolone. Należy stosować złącza osłonowe, a materiał użyty do produkcji rur musi być taki, aby nie uległ zmianie w strukturze podczas spawania. W przypadku spawania materiału o zbyt wysokiej zawartości węgla, przepuszczalność powietrza przez element spawany spowoduje wzajemne przenikanie się gazu wewnątrz i na zewnątrz rury, co obniży czystość, suchość i czystość przesyłanego gazu, co doprowadzi do poważnych konsekwencji i wpłynie na jakość produkcji.
Podsumowując, w przypadku rurociągów do przesyłu gazu o wysokiej czystości i gazu specjalnego konieczne jest stosowanie specjalnie obrobionych rur ze stali nierdzewnej o wysokiej czystości, co sprawia, że system rurociągów o wysokiej czystości (w tym rurociągi, kształtki rurowe, zawory, VMB, VMP) odgrywa kluczową rolę w dystrybucji gazu o wysokiej czystości.
Czas publikacji: 26-11-2024