As półprzewodniki technologie mikroelektroniczne rozwijają się w kierunku wyższej wydajności i wyższej integracji, stawiane są wyższe wymagania czystości specjalnych gazów elektronicznych. Technologia rurociągów gazowych o wysokiej czystości jest ważną częścią systemu dostaw gazu o wysokiej czystości. Jest to kluczowa technologia dostarczania gazów o wysokiej czystości, które spełniają wymagania punktów użytkowania gazu, jednocześnie zachowując kwalifikowaną jakość.
Technologia rurociągów o wysokiej czystości obejmuje prawidłową konstrukcję systemu, dobór złączek rurowych i materiałów pomocniczych, konstrukcję i montaż oraz testowanie.
01Ogólna koncepcja rurociągów przesyłowych gazu
Wszystkie gazy o wysokiej czystości i czystości muszą być transportowane do punktu gazowego terminala za pomocą rurociągów. Aby spełnić wymagania jakościowe procesu dla gazu, gdy indeks eksportu gazu jest pewny, należy zwrócić większą uwagę na dobór materiałów i jakość konstrukcji systemu rurociągów. Oprócz dokładności produkcji gazu lub sprzętu oczyszczającego, w dużej mierze zależy to od wielu czynników systemu rurociągów. Dlatego wybór rur musi być zgodny z odpowiednimi zasadami branży oczyszczania i oznaczać materiał rur na rysunkach.
02Znaczenie rurociągów o wysokiej czystości w transporcie gazu
Znaczenie rurociągów o wysokiej czystości w transporcie gazu o wysokiej czystości Podczas procesu wytopu stali nierdzewnej każda tona może pochłonąć około 200 g gazu. Po przetworzeniu stali nierdzewnej nie tylko różne zanieczyszczenia osadzają się na jej powierzchni, ale także pewna ilość gazu jest wchłaniana przez jej metalową kratownicę. Gdy przez rurociąg przepływa powietrze, część gazu pochłonięta przez metal ponownie wejdzie do strumienia powietrza i zanieczyści czysty gaz.
Gdy przepływ powietrza w rurze jest nieciągły, rura tworzy adsorpcję ciśnieniową na gazie przepływającym przez nią. Gdy przepływ powietrza przestaje przepływać, gaz zaadsorbowany przez rurę tworzy analizę redukcji ciśnienia, a analizowany gaz również wchodzi do czystego gazu w rurze jako zanieczyszczenie.
Jednocześnie cykl adsorpcji i analizy spowoduje, że metal na wewnętrznej powierzchni rury wytworzy pewną ilość proszku. Ta cząstka pyłu metalowego zanieczyszcza również czysty gaz w rurze. Ta cecha rury jest bardzo ważna. Aby zapewnić czystość transportowanego gazu, nie tylko wymagane jest, aby wewnętrzna powierzchnia rury miała niezwykle wysoką gładkość, ale także aby miała wysoką odporność na zużycie.
Gdy gaz ma silne właściwości korozyjne, do rurociągów należy stosować rury ze stali nierdzewnej odpornej na korozję. W przeciwnym razie na wewnętrznej powierzchni rury pojawią się plamy korozji z powodu korozji. W poważnych przypadkach duże kawałki metalu będą się łuszczyć lub nawet perforować, zanieczyszczając w ten sposób transportowany czysty gaz.
03Materiał rury
Wybór materiału rury musi być dokonany zgodnie z potrzebami użytkowania. Jakość rury jest zazwyczaj mierzona chropowatością wewnętrznej powierzchni rury. Im niższa chropowatość, tym mniejsze prawdopodobieństwo przenoszenia cząstek. Zasadniczo dzieli się na trzy typy:
Jeden jestRura 316L klasy EP, który został elektrolitycznie polerowany (Electro-Polish). Jest odporny na korozję i ma niską chropowatość powierzchni. Rmax (maksymalna wysokość od szczytu do doliny) wynosi około 0,3 μm lub mniej. Ma najwyższą płaskość i nie jest łatwo tworzyć mikroprądy wirowe. Usuń zanieczyszczone cząstki. Gaz reakcyjny używany w procesie powinien być doprowadzany rurociągiem na tym poziomie.
Jeden jestKlasa BA 316Lrura, która została poddana obróbce Bright Anneal i jest często stosowana do gazów, które mają kontakt z chipem, ale nie uczestniczą w reakcji procesu, takich jak GN2 i CDA. Jedną z nich jest rura AP (Annealing & Picking), która nie jest specjalnie poddana obróbce i jest ogólnie stosowana do podwójnych zestawów rur zewnętrznych, które nie są używane jako linie doprowadzające gaz.
04 Budowa rurociągów
Obróbka wylotu rury jest jednym z kluczowych punktów tej technologii budowlanej. Cięcie i prefabrykacja rurociągu odbywają się w czystym środowisku, a jednocześnie zapewnia się, że przed cięciem nie ma żadnych szkodliwych śladów ani uszkodzeń na powierzchni rurociągu. Przygotowania do przepłukiwania rurociągu azotem należy wykonać przed otwarciem rurociągu. Zasadniczo spawanie jest stosowane do łączenia rurociągów przesyłowych i dystrybucyjnych o wysokiej czystości i wysokiej czystości z dużym przepływem, ale spawanie bezpośrednie nie jest dozwolone. Należy stosować złącza osłonowe, a materiał użyty do rury musi nie zmieniać swojej struktury podczas spawania. Jeśli spawany jest materiał o zbyt wysokiej zawartości węgla, przepuszczalność powietrza części spawanej spowoduje, że gaz wewnątrz i na zewnątrz rury będzie się przenikał, niszcząc czystość, suchość i czystość gazu transportowego, co doprowadzi do poważnych konsekwencji i wpłynie na jakość produkcji.
Podsumowując, w przypadku rurociągów do przesyłu gazu o wysokiej czystości i gazu specjalnego konieczne jest stosowanie specjalnie obrobionych rur ze stali nierdzewnej o wysokiej czystości, co sprawia, że system rurociągów o wysokiej czystości (w tym rurociągi, kształtki rurowe, zawory, VMB, VMP) odgrywa kluczową rolę w dystrybucji gazu o wysokiej czystości.
Czas publikacji: 26-11-2024