As półprzewodnika technologie mikroelektroniczne rozwijają się w kierunku wyższej wydajności i wyższej integracji, stawiane są wyższe wymagania czystości elektronicznych gazów specjalnych. Technologia rurociągów gazowych o wysokiej czystości jest ważną częścią systemu dostaw gazu o wysokiej czystości. Jest to kluczowa technologia dostarczania gazów o wysokiej czystości, spełniających wymagania do punktów poboru gazu, przy jednoczesnym zachowaniu kwalifikowanej jakości.
Technologia rurociągów o wysokiej czystości obejmuje prawidłowe zaprojektowanie systemu, dobór złączek rurowych i materiałów pomocniczych, budowę oraz montaż i testowanie.
01Ogólna koncepcja rurociągów przesyłowych gazu
Wszystkie gazy o wysokiej czystości i wysokiej czystości muszą być transportowane rurociągami do końcowego punktu gazowego. Aby spełnić wymagania jakości procesu dla gazu, gdy wskaźnik eksportu gazu jest pewny, należy zwrócić większą uwagę na dobór materiału i jakość konstrukcji systemu rurociągów. Oprócz dokładności urządzeń do produkcji lub oczyszczania gazu, duży wpływ na nią ma wiele czynników związanych z systemem rurociągów. Dlatego przy wyborze rur należy przestrzegać odpowiednich zasad stosowanych w branży oczyszczania i oznaczyć materiał rur na rysunkach.
02Znaczenie rurociągów o wysokiej czystości w transporcie gazu
Znaczenie rurociągów o wysokiej czystości w transporcie gazu o wysokiej czystości Podczas procesu wytapiania stali nierdzewnej każda tona może wchłonąć około 200 g gazu. Po obróbce stali nierdzewnej na jej powierzchni nie tylko osadzają się różne zanieczyszczenia, ale także pewna ilość gazu zostaje wchłonięta przez metalową siatkę. Kiedy przez rurociąg przepływa powietrze, część gazu wchłonięta przez metal ponownie przedostanie się do strumienia powietrza i zanieczyszcza czysty gaz.
Kiedy przepływ powietrza w rurze jest nieciągły, rura tworzy adsorpcję ciśnienia na przepływającym przez nią gazie. Kiedy przepływ powietrza przestaje przepływać, gaz zaadsorbowany przez rurę tworzy analizę redukcji ciśnienia, a analizowany gaz wchodzi również do czystego gazu w rurze jako zanieczyszczenie.
Jednocześnie cykl adsorpcji i analizy spowoduje, że metal na wewnętrznej powierzchni rury wytworzy pewną ilość proszku. Cząsteczki pyłu metalicznego zanieczyszczają również czysty gaz w rurze. Ta cecha rury jest bardzo ważna. Aby zapewnić czystość transportowanego gazu, wymagane jest nie tylko, aby powierzchnia wewnętrzna rury charakteryzowała się wyjątkowo dużą gładkością, ale także aby charakteryzowała się dużą odpornością na zużycie.
Jeżeli gaz ma silne właściwości korozyjne, do rurociągów należy zastosować rury ze stali nierdzewnej odpornej na korozję. W przeciwnym razie na wewnętrznej powierzchni rury pojawią się plamy korozji z powodu korozji. W ciężkich przypadkach duże kawałki metalu odkleją się lub nawet przebiją, zanieczyszczając transportowany czysty gaz.
03Materiał rury
Dobór materiału rury należy dobrać w zależności od potrzeb użytkowania. Jakość rury mierzy się zazwyczaj na podstawie chropowatości wewnętrznej powierzchni rury. Im niższa chropowatość, tym mniejsze prawdopodobieństwo przenoszenia cząstek. Ogólnie dzieli się na trzy typy:
Jeden jestRura EP 316L, który został wypolerowany elektrolitycznie (Electro-Polish). Jest odporny na korozję i ma niską chropowatość powierzchni. Rmax (maksymalna wysokość od szczytu do doliny) wynosi około 0,3 μm lub mniej. Ma najwyższą płaskość i nie jest łatwo tworzyć mikroprądy wirowe. Usuń zanieczyszczone cząstki. Gaz reakcyjny stosowany w procesie powinien być doprowadzany rurociągiem na tym poziomie.
Jednym z nich jestKlasa BA 316Lrura poddana obróbce Bright Anneal i często stosowana do gazów mających kontakt z wiórem, ale nie biorących udziału w reakcji procesowej, takich jak GN2 i CDA. Jedną z nich jest rura AP (wyżarzanie i zbieranie), która nie jest poddawana specjalnej obróbce i jest zwykle stosowana w podwójnych zestawach rur zewnętrznych, które nie są wykorzystywane jako przewody doprowadzające gaz.
04 Budowa rurociągów
Obróbka wylotu rury jest jednym z kluczowych punktów tej technologii budowlanej. Cięcie i prefabrykacja rurociągu odbywa się w czystym środowisku, przy jednoczesnym zapewnieniu, że przed cięciem na powierzchni rurociągu nie pojawią się szkodliwe ślady i uszkodzenia. Przygotowania do przepłukania rurociągu azotem należy wykonać przed otwarciem rurociągu. Zasadniczo spawanie stosuje się do łączenia rurociągów przesyłowych i dystrybucyjnych gazu o wysokiej czystości i wysokiej czystości o dużym przepływie, ale spawanie bezpośrednie nie jest dozwolone. Należy zastosować złącza osłonowe, a materiał rury nie może wykazywać zmian w strukturze podczas spawania. Jeżeli spawany będzie materiał o zbyt dużej zawartości węgla, przepuszczalność powietrza części spawanej spowoduje wzajemne przenikanie się gazów wewnątrz i na zewnątrz rury, niszcząc czystość, suchość i czystość gazu transportowego, co doprowadzi do poważnych konsekwencji i wpływają na jakość produkcji.
Podsumowując, w przypadku rurociągów przesyłowych gazu o wysokiej czystości i gazów specjalnych należy zastosować specjalnie obrobioną rurę ze stali nierdzewnej o wysokiej czystości, co sprawia, że system rurociągów o wysokiej czystości (w tym rurociągi, kształtki rurowe, zawory, VMB, VMP) zajmuje kluczową misję w dystrybucji gazu o wysokiej czystości.
Czas publikacji: 26 listopada 2024 r