1. Definicja systemu gazu luzem:
Przechowywanie i kontrola ciśnienia gazów obojętnych Typy gazów: Typowe gazy obojętne (azot, argon, sprężone powietrze itp.)
Rozmiar rurociągu: od 1/4 cala (rurociąg monitorujący) do 12 cali rurociągu głównego
Głównymi produktami systemu są: zawór membranowy/zawór mieszkowy/zawór kulowy, złącze o wysokiej czystości (VCR, forma do spawania), złącze tulejowe, zawór regulacji ciśnienia, manometr itp.
Obecnie nowy system obejmuje również system do hurtowego składowania i transportu gazu, wykorzystujący stałe butle gazowe lub cysterny.
2. Definicja systemu oczyszczania:
Usuwanie zanieczyszczeń z gazów luzem w gazociągach o wysokiej czystości
3. Definicja szaf gazowych:
Zapewniają kontrolę ciśnienia i monitorowanie przepływu dla specjalnych źródeł gazu (gazów toksycznych, łatwopalnych, reaktywnych, żrących) oraz mają możliwość wymiany butli gazowych.
Lokalizacja: Znajduje się na parterze lub na parterze, w celu przechowywania gazów specjalnych. Źródło: NF3, SF6, WF6 itp.
Rozmiar rurociągu: wewnętrzny rurociąg gazowy, zwykle 1/4 cala dla rurociągu procesowego, 1/4-3/8 cala, głównie dla rurociągu do przedmuchiwania azotem o wysokiej czystości.
Główne produkty: Zawory membranowe o wysokiej czystości, zawory zwrotne, manometry, manometry, złącza o wysokiej czystości (VCR, złącza spawane). Te szafy gazowe zasadniczo zawierają funkcje automatycznego przełączania butli, aby zapewnić ciągłe dostarczanie gazu i bezpieczną wymianę butli.
4. Definicja dystrybucji:
Podłączenie źródła gazu do wężownicy zbierającej gaz
Rozmiar przewodu: W fabryce układów scalonych rozmiar przewodu dystrybucyjnego gazu wynosi na ogół od 1/2 cala do 2 cali.
Forma połączenia: Specjalne rurociągi gazowe łączone są zazwyczaj poprzez spawanie, bez jakichkolwiek połączeń mechanicznych lub innych ruchomych części, głównie dlatego, że połączenie spawane charakteryzuje się wysoką niezawodnością uszczelnienia.
W fabryce chipów są setki kilometrów rur podłączonych do przesyłu gazu, które mają zasadniczo około 20 stóp długości i są ze sobą zespawane. Niektóre zagięcia rur i spawane połączenia rurowe są również bardzo powszechne.
5. Definicja skrzynki zaworowej wielofunkcyjnej (skrzynki rozdzielczej zaworów, VMB):
Zadaniem urządzenia jest dystrybucja gazów specjalnych ze źródła gazu do różnych zakończeń urządzeń.
Rozmiar wewnętrznego rurociągu: 1/4 cala rurociągu procesowego i 1/4 - 3/8 cala rurociągu czyszczącego. System może wykorzystywać sterowanie komputerowe, aby wymagać zaworów uruchamianych lub sytuacji o niższych kosztach z zaworami ręcznymi.
Produkty systemowe: zawory membranowe/mieszkowe o wysokiej czystości, zawory zwrotne, złącza o wysokiej czystości (VCR, forma mikrospawania), zawory regulujące ciśnienie, manometry i manometry itp. Do dystrybucji niektórych gazów obojętnych stosuje się głównie panel rozdzielacza zaworów - VMP (wielofunkcyjny dysk zaworowy), który ma otwartą powierzchnię dysku gazowego i nie wymaga zamkniętej przestrzeni ani dodatkowego przedmuchiwania azotem.
6. Definicja płyty/skrzynki zaworowej wtórnej (panelu podłączania narzędzi):
Podłącz gaz wymagany przez sprzęt półprzewodnikowy od źródła gazu do końca sprzętu i zapewnij odpowiednią regulację ciśnienia. Ten panel to system sterowania gazem, który znajduje się bliżej końca sprzętu niż VMB (wielofunkcyjna skrzynka zaworowa).
Rozmiar rurociągu gazowego: 1/4 - 3/8 cala
Rozmiar rurociągu cieczy: 1/2 - 1 cal
Rozmiar rurociągu wylotowego: 1/2 - 1 cal
Główne produkty: zawór membranowy/zawór mieszkowy, zawór jednokierunkowy, zawór regulacji ciśnienia, manometr, manometr, złącze o wysokiej czystości (VCR, mikrospawanie), złącze tulejowe, zawór kulowy, wąż itp.
Czas publikacji: 22-11-2024