1. Definicja systemu gazu luzem:
Magazynowanie i kontrola ciśnienia gazów obojętnych Rodzaje gazów: Typowe gazy obojętne (azot, argon, sprężone powietrze itp.)
Rozmiar rurociągu: od 1/4 cala (rurociąg monitorujący) do 12-calowego rurociągu głównego
Głównymi produktami systemu są: zawór membranowy/zawór mieszkowy/zawór kulowy, złącze o wysokiej czystości (VCR, forma do spawania), złącze tulejowe, zawór regulacji ciśnienia, manometr itp.
Obecnie nowy system obejmuje również system do masowego składowania gazów specjalnych, w którym do przechowywania i transportu wykorzystuje się stałe butle gazowe lub cysterny.
2. Definicja systemu oczyszczania:
Usuwanie zanieczyszczeń z gazów luzem w gazociągach o wysokiej czystości
3. Definicja szaf gazowych:
Zapewniają kontrolę ciśnienia i monitorowanie przepływu dla specjalnych źródeł gazu (gazów toksycznych, łatwopalnych, reaktywnych i żrących) oraz mają możliwość wymiany butli gazowych.
Lokalizacja: Znajduje się na parterze lub na najniższym piętrze w celu przechowywania specjalnych gazów. Źródło: NF3, SF6, WF6 itp.
Rozmiar rurociągu: wewnętrzny rurociąg gazowy, zwykle 1/4 cala w przypadku rurociągu procesowego, 1/4-3/8 cala, głównie w przypadku rurociągu do przedmuchiwania azotem o wysokiej czystości.
Główne produkty: Zawory membranowe o wysokiej czystości, zawory zwrotne, manometry, manometry, złącza o wysokiej czystości (VCR, złącza spawane). Te szafy gazowe zasadniczo zawierają funkcje automatycznego przełączania butli, aby zapewnić ciągłe dostarczanie gazu i bezpieczną wymianę butli.
4. Definicja dystrybucji:
Podłączenie źródła gazu do wężownicy zbierającej gaz
Rozmiar przewodu: W fabryce układów scalonych rozmiar przewodu dystrybucyjnego gazu luzem waha się na ogół od 1/2 cala do 2 cali.
Forma połączenia: Specjalne rurociągi gazowe są na ogół łączone poprzez spawanie, bez jakichkolwiek połączeń mechanicznych lub innych ruchomych części, głównie ze względu na wysoką niezawodność połączenia spawanego.
W fabryce chipów znajdują się setki kilometrów rur do przesyłu gazu, które mają długość około 6 metrów i są ze sobą zespawane. Niektóre zagięcia rur i połączenia spawane są również bardzo powszechne.
5. Definicja skrzynki zaworowej wielofunkcyjnej (skrzynki zaworowej, VMB):
Zadaniem urządzenia jest rozprowadzanie specjalnych gazów ze źródła gazu do różnych urządzeń końcowych.
Wewnętrzny rozmiar rurociągu: rurociąg procesowy 1/4 cala i rurociąg płuczący 1/4–3/8 cala. System może wykorzystywać sterowanie komputerowe, aby wymagać zaworów sterowanych ręcznie lub w sytuacjach wymagających niższych kosztów, z zaworami ręcznymi.
Produkty systemowe: zawory membranowe/mieszkowe o wysokiej czystości, zawory zwrotne, złącza o wysokiej czystości (VCR, forma mikrospawania), zawory regulujące ciśnienie, manometry i manometry itp. Do dystrybucji niektórych gazów obojętnych stosuje się głównie panel zaworowy - VMP (wielofunkcyjny dysk zaworowy), który ma otwartą powierzchnię dysku gazowego i nie wymaga zamkniętej przestrzeni ani dodatkowego przedmuchiwania azotem.
6. Definicja płyty/skrzynki zaworowej wtórnej (panelu przyłączeniowego narzędzi):
Podłącz gaz potrzebny do urządzeń półprzewodnikowych od źródła gazu do końcówki urządzenia i zapewnij odpowiednią regulację ciśnienia. Ten panel to system sterowania gazem, który znajduje się bliżej końcówki urządzenia niż VMB (wielofunkcyjna skrzynka zaworowa).
Rozmiar rurociągu gazowego: 1/4 - 3/8 cala
Rozmiar rurociągu cieczy: 1/2 - 1 cala
Rozmiar rurociągu wylotowego: 1/2 - 1 cala
Główne produkty: zawór membranowy/zawór mieszkowy, zawór jednokierunkowy, zawór regulujący ciśnienie, manometr, manometr, złącze o wysokiej czystości (VCR, mikrospawanie), złącze tulejowe, zawór kulowy, wąż itp.
Czas publikacji: 22-11-2024